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气体质量流量控制器

气体质量流量控制器

产品型号: GT130D

所属分类:GT130D质量流量控制器

更新时间:2020-09-10

浏览次数:96

简要描述:GT130D气体质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC) 用于对气体的质量流进行精密测量和控制。它们在半导体集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。典型应用场合有微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气象色谱仪以及其他分析仪器。

详细说明:

  GT130D气体质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC) 用于对气体的质量流进行精密测量和控制。它们在半导体集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。典型应用场合有微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气象色谱仪以及其他分析仪器。

 

技术特点

  • 微处理器控制

内部采用可编程未处理器控制,使用PID控制,可实现不同工况条件下进行高速精确的流量控制。

  • 紧凑的外形尺寸

尺寸非常小巧紧凑,用户使用时,不但能够减小系统体积和重量,同时能够集成更多的功能模块。

  • 多气体多量程选择

内部设置了多种气体模式(H2、N2、Air、He等),用户可根据用户手册及使用需求进行操作选择。同时,本公司提供择不同量程MFC产品,用户可根据需求进行选。

  • RS-484总线接口

内置RS-485总线接口,可选择使用RS-485控制或按键控制两种模式。可通过RS-485总线组网,实现多台MFC同时控制。

  • 可独立运行

上电后即可使用,用户可通过按键直接对MFC进行操作,无需连接其他外部电路、PC、PLC等设备。

  • 便捷标定方法

GT130D气体质量流量控制器可通过专用标定软件对MFC进行标定,只需将MFC通过RS-485总线与PC连接即可进行标定。

 

技术指标

项目

参数信息

最大量程

50sccm~5slpm(可定制)

精度

±1%F.S.

气体类型

H2/He/N2/Air/Ar(可定制)

响应时间

1s

压差范围

<1MPa

工作温度

0~50℃

工作湿度

0~95%R.H.(非冷凝)

工作电压

DC24V±10%/DC12V±10%

信号接口

RS-485(Modbus)

气路材质

不锈钢/铝合金/铝合金惰性涂层

气路接口

1/16或1/8或1/4

尺寸

60×26×80mm

 

 



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