欢迎访问天津吉思特仪器仪表有限公司网站 手机:13811922147
产品中心/ product center 您的位置:网站首页 > 产品中心 > 流量控制器(MFC) > GT160D质量流量控制器 > GT160D气体质量流量控制器
气体质量流量控制器

气体质量流量控制器

产品型号: GT160D

所属分类:GT160D质量流量控制器

更新时间:2020-09-10

浏览次数:83

简要描述:GT160D气体质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC) 用于对气体的质量流进行精密测量和控制。它们在半导体集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。典型应用场合有微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪以及其他分析仪器。

详细说明:

        GT160D气体质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC) 用于对气体的质量流进行精密测量和控制。它们在半导体集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。典型应用场合有微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪以及其他分析仪器。

技术特点

  • 微处理器控制

GT160D气体质量流量控制器内部采用可编程未处理器控制,使用PID控制,可实现不同工况条件下进行高速*确的流量控制。

  • RS-484总线接口

质量流量控制器内置RS-485总线接口,可选择使用RS-485串口控制或按键控制两种模式。可通过RS-485总线组网,实现多台MFC同时控制。

  • 标定方法

质量流量控制器执行JJG 1132-2017国家标准,所有产品均采用特定高纯气体标定,确保产品的精度。

可通过专用标定软件对气体质量流量控制器进行标定,只需将MFC通过RS-485总线与PC连接即可进行标定。

  • 紧凑的外形尺寸

质量流量控制器尺寸非常小巧紧凑,用户使用时,不但能够减小系统体积和重量,同时能够集成更多的功能模块。

  • 多气体多量程选择

质量流量控制器内部设置了多种气体模式(H2、N2、Air、Ar、He等),用户可根据用户手册及使用需求进行操作选择。同时,本公司提供择不同量程MFC产品,用户可根据需求进行选。

技术指标

 

项目

参数信息

最大量程

50sccm-500sccm(可定制)

精度

±1%F.S.

气体类型

H2/He/N2/Air/Ar(可定制))

响应时间

1s

压差范围

<1MPa

工作温度

0~50℃

工作湿度

0~95%R.H.(非冷凝)

工作电压

24V±10%/12V±10%

信号接口

RS-485(Modbus)

气路材质

不锈钢/铝合金/铝合金惰性涂层

气路接口

1/16

尺寸

55×46×22mm

 

 

 



留言框

  • 产品:

  • 留言内容:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 详细地址:

  • 省份:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7

在线客服 联系方式 二维码

服务热线

13051256352

扫一扫,关注我们