气体质量流量计

产品型号：

所属分类：G300质量流量计

更新时间：2023-06-21

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简要描述：G300热式气体质量流量计标配高精度传感器和数字电路，数字电路可完成测量及控制所需的所有基本功能。G300 系列采用标准的 RS-485 Modbus RTU 通信模式。RS-485 总线最高可扩展至 255 台设备同时使用。

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详细说明：

G300 质量流量计特点

 高精度、高分辨率控制

 低功率，功率＜0.5W

 集成 20 种基础气体种类

 可自定义 10 种混合气体

 数字化控制，RS-485 Modbus RTU 通信模式

 宽流量量程范围

 无需预热

 无安装方向限制

 具有高重复性和高可靠性

 自带温度补偿，补偿范围 0-50℃

 具有高稳定性

 小封装尺寸量程及精度简介

 可用量程：

 最大 0-50slpm

 最小 0-1sccm

 常备量程请参考选型表

 量程比：1000:1

 满量程精度：±0.2%

 读取精度：±0.8%

 可重复性：±0.2%FS

数字式设计简介

G300 系列质量流量计标配高精度传感器和数字电路，数字电路可完成测量及控制所需的所有基本功能。G300 系列采用标准的 RS-485 Modbus RTU 通信模式。RS-485 总线最高可扩展至 255 台设备同时使用。

应用领域

 气相和液相色谱仪

 半导体工艺

 环境监测设备

 微反应装置及材料制备实验装置（CVD）

 气体发生器

 配气混气系统