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气体质量流量计

气体质量流量计

产品型号:

所属分类:G300质量流量计

更新时间:2023-06-21

浏览次数:2738

简要描述:G300热式气体质量流量计标配高精度传感器和 数字电路,数字电路可完成测量及控制所需的所 有基本功能。G300 系列采用标准的 RS-485 Modbus RTU 通信模式。RS-485 总线最高可扩展 至 255 台设备同时使用。

详细说明:

G300 质量流量计特点

高精度、高分辨率控制

低功率,功率<0.5W

集成 20 种基础气体种类 

可自定义 10 种混合气体 

数字化控制,RS-485 Modbus RTU 通信模式 

宽流量量程范围 

无需预热 

无安装方向限制 

具有高重复性和高可靠性

自带温度补偿,补偿范围 0-50℃

具有高稳定性

小封装尺寸 量程及精度简介

可用量程: 

最大 0-50slpm 

最小 0-1sccm 

常备量程请参考选型表 

量程比:1000:1 

满量程精度:±0.2% 

读取精度:±0.8% 

可重复性:±0.2%FS 

数字式设计简介

G300 系列质量流量计标配高精度传感器和 数字电路,数字电路可完成测量及控制所需的所 有基本功能。G300 系列采用标准的 RS-485  Modbus RTU 通信模式。RS-485 总线最高可扩展 至 255 台设备同时使用。 

应用领域 

气相和液相色谱仪 

半导体工艺 

环境监测设备 

微反应装置及材料制备实验装置(CVD) 

气体发生器 

配气混气系统

 

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