欢迎访问天津吉思特仪器仪表有限公司网站 手机:13811922147
产品中心/ product center 您的位置:网站首页 > 产品中心 > 流量控制器(MFC) > GT180质量流量控制器 > GT180质量流量控制器
GT180质量流量控制器

GT180质量流量控制器

产品型号:

所属分类:GT180质量流量控制器

更新时间:2021-10-26

浏览次数:65

简要描述:GT180质量流量控制器工作原理:气体通过质量流量传感器,控制电路通过模数转换器读取质量流量传感器采集信号。控制电路根据传感器读取值与控制信号设定值通过相关算法调节比例阀,从而精准控制气体输出流量。

详细说明:

     气体质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC) 用于对气体的质量流进行精密测量和控制。它们在半导体集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。典型应用场合有微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪以及其他分析仪器


l 产品特点

l 经济适用

l 超低功耗

l 高集成度紧凑型设计

l 多种气体校准

l RJ45(网口)通用接口

l 数字控制和模拟控制双模式

l 标准RS485 Modbus RTU通信协议

l 模拟输入1-5V/模拟输出1-5V

l 采用进口高精度传感器

l 采用进口比例阀控制

l 模糊PID算法,可更改PID控制参数

l 内置环境气压传感器

l 内置环境温度传感器

l 高重复性

l 低温度漂移

l 控制参数自整定功能

l 具有自动调零功能

l 电路防浪涌设计

l 具有故障报警功能


l 技术特点

l  微处理器控制

MFC内部采用可编程未处理器控制,使用PID控制,可实现不同工况条件下进行高速精确的流量控制。

l  RS-485总线接口

MFC内置RS-485总线接口,可选择使用RS-485控制或按键控制两种模式。可通过RS-485总线组网,实现多台MFC同时控制。

l  便捷标定方法

可通过专用标定软件对MFC进行标定,只需将MFC通过RS-485总线与PC连接即可进行标定。

l  紧凑的外形尺寸

MFC尺寸非常小巧紧凑,用户使用时,不但能够减小系统体积和重量,同时能够集成更多的功能模块。

l  多气体多量程选择

MFC可选择多种气体种类(H2N2AirHe等),用户可根据用户手册及使用需求进行操作选择。同时,本公司提供不同量程MFC产品,用户可根据需求进行选。


l 应用范围

l 气象色谱仪

l 环保监测设备

l 制气配气

l CVD材料制备装置

l 半导体/光伏设备

l 生物发酵/医疗仪器

l 其他实验室分析仪器


l 技术参数

项目

参数信息

最大量程

50sccm~20slpm(可定制)

精度

±1%F.S.

线性

±1%F.S.

重复精度

±0.2%F.S.

气体类型

H2/He/N2/Air/Ar(可定制))

响应时间

1s

压差范围

<1MPa

工作温度

0~50

工作湿度

0~95%R.H.(非冷凝)

工作电压

24V±10%/12V±10%

信号接口

RS-485Modbus),模拟电压信号

气路材质

不锈钢/铝合金/铝合金惰性涂层

气路接口

1/16

尺寸

50×24×55mm


l 外形尺寸      


单位:毫米(mm

图片3.jpg

l 接口定义

微信图片_20211026172907.png

l 产品选型

微信图片_20211026173011.png


                                                                                                                                                               

感谢您购买使用吉思特GT180质量流量控制器(MFC)。

本手册描述了GT180质量流量控制器功能、性能以及使用产品达到最佳使用效果的应用方法。

请在使用该产品时注意以下事项:

l  在使用该产品前应通读并理解本手册以确保正确的使用。

l  使用该产品人员应具有基本的电气系统知识。

l  请妥善保管本手册以确保在需要时可以随时查阅。

                                                                                                                                                                         

注意事项

l  通电期间,请勿触碰端子。

l  不得让金属物体、导线、液体等进入控制器,否则引起设备短路、触电或火灾等危险事件。

l  请勿将本产品置于易燃易爆等场合。

l  绝对不要拆卸、改装以及修理该产品或解除任何内部元件。

l  请设定适合系统控制使用的产品参数。如果设定不当,可能会因意外操作而造成财产损失或事故。

l  请在规定的时间内对该设备进行标定,以确保设备的准确性。

l  设备通电前,请确认接线是否正确,供电电压是否符合使用手册要求。

l  使用气体必须净化,切忌粉尘、液体和油污。必要时,须在气路中加装过滤器等。

l  使用前,请确认使用气体是否与标定气体相符,以免导致流量数据错误。

l  请勿使用腐蚀性气体,以免MFC气路损坏。

                                                                                                                                                                               

保修与服务

l  本公司生产的MFC产品在出货1年以内,如果用户按照使用手册正常使用,且产品没有遭受物理损害、污染、改装或翻新,若有问题,免费维修。

l  免费维修范围,不包含气路接头及气路接头密封圈。

l  请收到产品后及时对产品进行验收,出现问题请及时反馈销售人员。

l  保修期内,产品必须由本公司或授权的服务中心修理。

l  用户使用过有毒、有污染或腐蚀性气体的产品,本公司将不负责修理或保修。

l  输入的气体压力必须符合产品的耐压标准, 不能超过该产品要求的最大压力。

l  产品的使用气体必须与用户订货选择的密封材料相适应, 用户有责任按照可用的安全规章使用每种气体。不正确的使用产品会使保修无效,由于不正确的使用所导致的损害不能归咎于本公司。

l  禁止自行拆开MFC。如果自行拆卸造成损坏,则本公司承诺的保修无效。

                                                                                                                                                                               

天津吉思特仪器仪表有限公司






留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7

在线客服 联系方式 二维码

服务热线

13051256352

扫一扫,关注我们