质量流量控制器

产品型号： G300C

所属分类：G300C质量流量控制器

更新时间：2023-06-27

浏览次数：2748

简要描述：G300系列产品采用层流压差法测量流量，具有高精度、高分辨率、高重复性和高可靠性等特点。产品内置多种气体和混合气体，采用模拟数字等多种控制方式。

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详细说明：

G300C 质量流量控制器特点

 高精度、高分辨率控制

 低功率，功率＜2W

 集成 20 种基础气体种类

 可自定义 10 种混合气体

 控制参数自整定功能

 数字化控制，RS-485 Modbus RTU 通信模式

 宽流量量程范围

 无需预热

 无安装方向限制

 具有高重复性和高可靠性

 采用电磁比例阀，使用寿命长，响应速度快

 自带温度补偿，补偿范围 0-50℃

 内部闭环控制，具有高稳定性

 小封装尺寸量程及精度简介

 可用量程：

 最大 0-50slpm

 最小 0-1sccm

 常备量程请参考选型表

 量程比：1000:1

 满量程精度：±0.2%

 读取精度：±0.8%

 可重复性：±0.2%FS

 响应时间：＜100ms（调节 PID 控制参数可缩短响应时间）

数字式设计简介 G300C 系列质量流量控制器标配高精度传感器和数字电路，数字电路可完成测量及控制所需的所有基本功能。G300C 系列采用标准的 RS-485 Modbus RTU 通信模式。RS-485 总线最高可扩展至 255 台设备同时使用。

应用领域

 气相和液相色谱仪

 半导体工艺

 环境监测设备

 微反应装置及材料制备实验装置（CVD）

 气体发生器

 配气混气系统

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