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质量流量控制器

质量流量控制器

产品型号: G300C

所属分类:G300C质量流量控制器

更新时间:2023-06-27

浏览次数:2952

简要描述:G300系列产品采用层流压差法测量流量,具有高精度、高分辨率、高重复性和高可靠性等特点。产品内置多种气体和混合气体,采用模拟数字等多种控制方式。

详细说明:

G300C 质量流量控制器特点 

高精度、高分辨率控制 

低功率,功率<2W 

集成 20 种基础气体种类 

可自定义 10 种混合气体

控制参数自整定功能 

数字化控制,RS-485 Modbus RTU 通信模式

宽流量量程范围 

无需预热

无安装方向限制 

具有高重复性和高可靠性 

采用电磁比例阀,使用寿命长,响应速度快 

自带温度补偿,补偿范围 0-50℃ 

内部闭环控制,具有高稳定性

小封装尺寸 量程及精度简介 

可用量程: 

最大 0-50slpm 

最小 0-1sccm 

常备量程请参考选型表 

量程比:1000:1 

满量程精度:±0.2% 

读取精度:±0.8% 

可重复性:±0.2%FS

响应时间:<100ms(调节 PID 控制参数可缩 短响应时间) 

数字式设计简介 G300C 系列质量流量控制器标配高精度传 感器和数字电路,数字电路可完成测量及控制所 需的所有基本功能。G300C 系列采用标准的 RS-485 Modbus RTU 通信模式。RS-485 总线最高 可扩展至 255 台设备同时使用。 

应用领域 

气相和液相色谱仪 

半导体工艺 

环境监测设备 

微反应装置及材料制备实验装置(CVD) 

气体发生器

配气混气系统



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