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质量流量控制器

质量流量控制器

产品型号: G100C

所属分类:G100C质量流量控制器

更新时间:2023-04-14

浏览次数:2952

简要描述:具有高精度、高分辨率、高重复性和高可靠性等特点。产品内置多种气体和混合气体。

详细说明:

G100C质量流量控制器特点

高精度、高分辨率控制

DC 9-36V宽电压供电

低功率,功率<2W

集成40种基础气体种类

可自定义10种混合气体

控制参数自整定功能

数字化控制,RS-485 Modbus RTU通信模式

宽流量量程范围

无需预热

无安装方向限制

具有高重复性和高可靠性

采用电磁比例阀,使用寿命长,响应速度快

自带温度补偿,补偿范围0-50

内部闭环控制,具有高稳定性

小封装尺寸

 

量程及精度简介

可用量程:

最大0-20slpm

最小0-10sccm

常备量程请参考选型表

量程比:100:1

满量程精度:±0.5%

读取精度:±1%

可重复性:±0.5%FS

响应时间:<100ms(调节PID控制参数可缩短响应时间)

 

数字式设计简介

G100C系列质量流量控制器标配高精度传感器和数字电路,数字电路可完成测量及控制所需的所有基本功能。G100C系列采用标准的RS-485 Modbus RTU通信模式。RS-485总线最高可扩展至255台设备同时使用。

 

应用领域

气相和液相色谱仪

半导体工艺

环境监测设备

微反应装置及材料制备实验装置(CVD

气体发生器

配气混气系统


 





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